真空镀膜设备的检漏方式

    真空镀膜设备的检漏方式多种多样,本文最主要介绍镀膜设备两种高感度的检漏方式
。

    1.残留气体分析法残留气体分析使用四极滤质器



。通过分析真空腔体内的残留气体,当某种特定的气体量多的时候可知有漏气。如

：有检测残留气体的例子。没有漏气时,质量14,28,32的峰值分别是CH2,CO,O2如果有漏气,则N,N2,O2会从大气侧流入,使相应的质量数峰值增加
。

真空镀膜设备的检漏方式2

    探测法
从外部用氦气吹向被检测部,然后由连接在真空腔体上的氦质谱检漏仪来检测侵入的氦气,这种方式可检测出极少的漏气

。
检测气体使用氦气的原因如下

：
1.氦气在空气中的存在量仅为5ppm,如果有漏气容易查清原因
。
2.因为是惰性气体,在真空腔体内不容易吸附在腔体上,容易放出。
3.从腔体放出的气体中几乎不包含氦气
。
4.没有毒性
。

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