镀膜设备真空检漏是真空获得保证
，它是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程




。漏气是影响真空获得和真空维持的主要因素之一


。

    由于镀膜设备漏孔存在会抵消真空泵部分抽气作用，延长抽气时间，降低镀膜设备的极限真空。即使在动态情况下能够达到较高真空度



，待与真空抽气系统连接阀门关闭，静态内部压力会迅速上升，严重影响器件的工作特性及寿命。
     镀膜设备真空系统漏气是绝对的
，不漏气是相对的
，对于动态真空系统

，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度

，这时即使存在着漏孔
，也可以为该系统的漏率是容许的，动态真空系统的最大容许漏率Q一应满足公式   Q max≤ 1／1O PS式中 P---系统工作压力  S---系统的有效抽速
     对于静态真空系统
，要求在一定时间内
，其压力维持在容许的压力以

，这时即使存在着漏孔，同样可以认为该系统的漏率是容许的

，静态真空系统最大容许漏率Q max应满足公式Q max≤ (Pt---P)V／t 式中P---系统工作压力  Pt—系统极限压力      V--- 系统容积        t--时间

      镀膜设备检漏方法的分类检漏的方法很多，但各有特点和使用范围
，究竟选用哪种方法比较合适

，要根据具体情况而定，作为比较理想的检漏方法应该满足下述几方面的要求


：

(1)镀膜设备检漏灵敏度高，满足少于被检漏率二个数量级以上


。
(2)反应时间短



，则找出一个漏孔的时间就短。
(3)能定位，定量测得漏率大小。
(4)能无损

、无污染的检漏


。
(5)检漏范围广
，从大漏到小漏都能检
。
(6)检漏仪器应结构简单

，操作维修方便。
     然而上述要求也是有矛盾的
，要求一种方法同时满足上述要求也是不可能的。一般灵敏度高检漏仪结构比较复杂




，使用和维修都比较困难。价格也相当贵。所以只能针对不同检漏对象来选择合适的方法。以解决主要矛盾为原则
。

     镀膜设备很多与电、电磁



、水
、气源和制冷有关

。有的是机械装配中的不细心造成的


，有的是绝缘材料或结构上的问题





。真空设备出现故障
，尊龙凯时人生就是搏的经验是不要急于下结论
，不要急于拆卸设备、应认真分析故障现象，以先易后难的原则使用排除法来进行。先用真空仪表大概判断出设备状态。然后对真空泵单独测试和整个真空机组进行检测
，在确保真空获得无问题情况下





。进行真空检漏
，镀膜设备检漏根据问题论述原则，选检漏仪与检漏方式。先进行静态升压试验，判断漏气和放气

。然后进行分段与整体检漏
，找出漏点


，并确定其漏率大小

。

            东莞尊龙凯时人生就是搏真空科技有限公司专业提供真空镀膜设备保养
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，请联系尊龙凯时人生就是搏

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