镀膜设备真空系统常用检漏方法有

1



、充压检漏法：是在被检容器或工件内充入一定压力的检测气体，然后将被检测件浸入或在其外表面涂满显示液体


，如果有漏孔，气体便通过漏孔流出


，并在漏孔处形成气泡
，气泡形成的地点就是漏孔的位置

。

2、真空计检漏法：在真空系统正常抽气已达到动态平衡时，利用各种相对真空计的读数与被测气体种类有关的性质

，使用真空设备上已有的真空计进行检漏的方法
，统称为真空计检漏法
。

3
、离子泵检漏法

：离子泵无油抽气超高真空系统常用的一种检漏方法

。

4、卤素检漏法

：卤素检漏仪是带有特殊检漏传感器的仪器。

5、高频火花检漏仪检漏方法

6

、超声波检漏技术

7
、荧光示踪检漏技术等等

镀膜设备真空系统常用检漏方法有7种方法,你会了哪种方法啊？

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