镀膜设备真空泵就是真空获得设备是用来产生和维持真空的装置。利用真空泵把一特定容器的气体抽走，使该容器中的压强低于一个大气压

，这就是真空获得
。

  目前镀膜设备真空获得所涉及的压强范围已有十几个数量极
。由于稀薄气体分子在不同压强范围内气体分子运动特性不同
，所以较宽量程压力范围内不可能用一种真空泵来获得。

   由于不同类型镀膜设备真空泵的工作原理不同，而各有其特点和工作范围
。比如有些泵可直接从大气开始工作，有些泵则必须借助前级泵才能工作

下面列举常用真空泵的应用特点：

(1)镀膜设备旋片真空泵：又称机械真空泵属于低真空泵类。它具有从大气直接排气的特性，既可以单独使用，也可作为高真空泵或超高真空泵的前级泵。

　  旋片泵的工作原理
：是基于变容作用
，用油来保持运动部件之间密封



，靠机械的方法来密封的容积，容积周期性增大、缩小
，从而达到排气的目的。所以旋片泵极限真空度下降

，噪声大，卡死等现象，与油的质量和机械转动
、零件与零件配合间隙有关
。

(2)镀膜设备油扩散泵



：油扩散泵是目前生产中最常用的高真空泵，被广泛用于真空电子器件的排气车
、真空冶炼
、真空热处理、真空镀膜与真空焊接等设备中


。它的主要特点是在高真空下

。对各种气体都有很高的抽速，使用维护都很方便，无机械运动
，不易损坏，但不足之处不能单独使用

，必须有前级泵方可工作
，测试前级压力需达到1.33Pa

。

　  油扩散泵是一种蒸气流泵
，其工作原理利用蒸流的作用来将低密度气体压缩为较高密度使其达到机械泵能够作用气体压强范围被抽走




。由于油分子量是空气分子量15～20倍，油分子能比空气大一个数量级，泵油在加热情况形成每秒200m 定向运动的蒸气流是油扩散泵关键


。

    由此看来，若要扩散泵正常工作：
a．扩散泵在加热时必须有足够大的蒸气压



，而在冷却后要有足够低的蒸气压。
b．一定要有前级泵才能工作，因只有油蒸气流密度远大于空气密度时才能形成高速气流
。
c．要有足够的加热功率

，使油锅内油迅速蒸发







，通过喷嘴形成定向射流
。
d．要有足够的冷却能力，使油蒸气碰到泵壁时能很快地冷凝为液体返回油锅
，否则冷却不够产生反扩散，降低真空度。
(3)分子泵
：涡轮分子泵是靠高速转子携代气体分子获得超高真空的一种机械式真空泵
，工作压力范围为10-1～10-8pa


，它具有抽速较大
，抽速范围很宽的特点，分子泵适用于要求清洁的高真空和超高真空的设备上使用
，但它不能直接对大气排气
，需要配置前级泵、由于分子泵属于分子动能泵在大气压下启动分子泵
、分子密度过大


、泵工作要发热损坏



。

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