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    多功能真空镀膜机是怎么构成的?
    发布时间 :2014-02-12 浏览 :4231 次

        多功能真空镀膜机是磁控溅射、多弧离子、蒸腾镀膜的混合性设备  ,是在多弧离子镀膜机的基础上装备圆柱靶或平面磁控靶     ,设备具有离子镀的高离化率、高堆积速度的特色 ,一起也具有磁控溅射低温 、安稳的长处,合适镀各种复合膜。

     

    多功能真空镀膜机--磁控  、中频    、多弧离子镀膜具体介绍  :

    ①蒸腾与磁控溅射的混合设备:
       多功能,合适量产 ,适应性强。


    ②磁控溅射与多弧离子镀的混合运用:
        多弧能够进步炮击清洗质量  ,添加薄膜与基材结合力 。与磁控溅射一起作业可镀制复合膜(高能离子源清洗活化 ,成膜速度快)。

     

    ③多对中频磁控溅射靶与柱弧离子镀的混合运用:
       中频靶更安稳(如Al ),离化率高 、堆积速率快、成膜均匀  。
       中频反应溅射如镀制Si02、TiO2  ,一起镀多层不一样原料簿膜 。

     

    ④射频     、直流、中频、柱弧的混合运用:
       射频能够直接镀制绝缘保护膜如SiO2/Ag/SiO2

     

    ⑤圆柱弧、中频 、多弧的混合运用:   
       柱弧确保高离化率的一起,削减大颗粒堆积的份额,到达有好的结合力又有较好表面光洁度的作用。

     

    多功能真空镀膜机适用中高层次商品如表带 、表壳、眼镜框 、手机壳 、高尔夫球具  、卫浴洁具、饰品等   。

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