多弧磁控真空镀膜机其工作原理是在真空状态下，使用弧光放电和辉光放电的工作原理
。在金属和非金属的工件表面上镀制金色的氮化钛


，黑色碳化钛


，七彩的氮氧化钛等。亦可镀防腐蚀膜（如AL,Cr不锈钢及TiN等）和耐磨膜，膜层与基底结合牢固，适合于手表、五金餐具
、陶瓷及要求磨超硬的刀具，模具等，具有很好的发展前景

。

多弧磁控镀膜机 使用及维护
使用前各电源开关及操作按钮应处于断开位置
，接通水源，气源

，电源。
1）打开真空控制电源开关

。
2）开维持泵对扩散泵抽低真空




，并测量前级真空度
。
3）待前级压力达到5.0*10pa后

，开扩散泵加热


。
4）开充气阀

，对镀膜室充气
，打开镀膜室门，装好清洗干净的工件







，关好炉门。
5）待扩散泵正常工作一小时后，开机械泵开预抽阀




，对真空室手抽真空至1.0*103pa


，然后开罗茨泵。
6）当压力达到3.0*10pa后，关预抽阀
，开前级阀
。开高真阀
，对镀膜室抽高真空。
7）当真空室压力达到8*10-3pa后开工作旋转
，并开加热至设定值

。
8）开始镀膜操作程序。
9）镀膜操作程序结束。
10）降炉温至100oC以下，打开充气阀炉门取出工件，每一炉使用之前对炉内进行清洁



。
11）一个工作周期后，要用吸尘器把镀膜室内的粉尘吸干净，避免短路或污染真空系统。
12）经过一段时间要取下挡板进行清洗


。

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