谈谈真空镀膜机维修,真空镀膜机维修应注意哪些问题呢？东莞尊龙凯时人生就是搏真空科技高级工程师与你一起来谈谈
。

1. 真空镀膜机维修-正确安装本设备
，真空室


、电控柜必须安全接地
。

2. 真空镀膜机维修-为保证镀膜质量，要注意真空室的卫生
，必须严格按技术要求执行


。对室体内的零部件应用汽油、丙酮

、酒精等清洗干净

，擦干或烘干后方可装入

。

3. 开机前检查各真空泵的机械转动部位是否正常
，如旋片泵










、罗茨泵过渡传动中的密封等，必须经常检查油量和油脂，以保证其正常工作。

4. 启动压缩机

，保证空气压力在0.4Mpa才以上，经常排放压缩机储气罐中的积水


。

5. 工作完毕后
，镀膜室应擦净，无污物
，保持低真空
，避免污染真空系统，影响真空性能



。

6. 经常检查高压微动开关，应安全可靠


，如导通不良或损坏，须立即更换
。

7. 工作中如遇突然停电，应立即切断真空测量
，关闭各手动阀门
，将扩散泵加热炉提出

，切不可断冷却水。

8.每完成200个镀膜程序以上


，应清洁工作室一次
。方法是

：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁
，（注意人体皮肉不可以直接接触烧碱溶液




，以免灼伤）使镀上去的铝膜（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢
。

9.真空镀膜机维修-当粗抽泵（2X-15A维持泵，2X-2A旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法是

：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒
，使泵内的旧油完全排放出来
。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）

。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开

，用布擦干净箱内污垢
。

10.扩散泵连续使用6个月以上

，抽速明显变慢

，或操作失当，充入大气

，拆去联结水管，卸下电炉盘





，将一级喷嘴开
，先用汽油将泵腔及泵芯清洗一遍



，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净
，待水份挥发干以后，装好泵芯

，加入新扩散泵油，并装回机体
，接好水管

，装好电炉盘，便可以重新开机



。

    在重新开机前
，要注意检漏工作
。方法是



：启动维持泵
，关好大门，数分钟后
，观察真空度是否达到6×100帕，否则要进行检漏


。检查联接处是否漏装密封胶圈，或压坏密封圈
。排除漏气隐患后方可加热
，否则扩散泵油会烧坏

，无法进入工作状态。

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