真空镀膜机由真空镀膜室、蒸发源、真空机组、卡具、蒸发电源、控制系统与辅助装置等组成

。

　　主要特点
：

　　1




、配有石英晶体或光学膜厚控制仪

，可以实现膜厚镀膜自动控制

，实现高精度的镀膜效果


。

　　2

、配RF离子轰击装置达到净化基体表面的作用

，使膜与基体表面附着力更好
，提高膜层的强度。

　　3、可同时蒸镀两种以上不同的蒸镀材料，可制成复合膜

。

　　4、操作简便

、适应生产、科研的理想机。

　　5、具有过流
、过压保护及断水

、欠压保护及电气互锁的功能。

　　真空镀膜机可采用电阻加热式蒸发源

、电子束加热式蒸发源和感应加热式蒸发源
。可以蒸发金属
、金属氧化物和非金属氧化物，适用于电子工业、光学工业的导电膜
、光学膜、滤光膜

、装饰膜等

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真空镀膜机保养办法

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