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    真空系统中残余气体如何处理 ?
    发布时间:2014-08-24 浏览   :5506 次

      从高真空及超高真空的角度来看 ,真空系统内的残余气体是一个必须引起注意的问题      ,残余气体往往造成真空系统内部的表面污染,从而达不到真空工艺所要求的结果

      另外 ,对超高真空系统来说   ,残余气体的成分对系统的极限压力往往产生重要影响,如果抽气系统或抽气的工艺文汇选择不当          ,残余气体是影响其工作性能及寿命的重要因素    。在实际工作中,不但要降低电真空器件中残余气体的量(真空度) ,更要注意控制残余气体的质(气体成分)。

      因为电真空器件中残余的O2 、CO2     、CO、H2O及碳氢化合物等有害气体 ,会引起电真空器件的阴极“中毒” 、高压放电击穿等有害现象 。

      残余气体Ar可能会使电真空器件内产生离子轰击现象,从而损坏器件的阴极或其他部件   。

      残余气体的量多还会引起电子管的噪声增高。

      真空系统中的残余气体成分是与真空系统的作业各类及工艺(如镀膜 、金属熔炼等)和所用的抽气系统的类型有关  ,大致可分为以下几种情况  :

      在低真空下使用的真空装置中,残余气体主要为空气(O2 N2……);

      在只用油封机械泵连续进行长时间抽气的真空装置中,当无泄漏时,残余气体中有:有机物及水蒸气

      在用油扩散泵抽气的高真空装置中,残余气体中主要有:有机物和水蒸气 。

      使用溅射离子泵抽气系统  ,但不对真空系统进行特别的烘烤脱气处理时 ,则残余气体中水蒸气最多,另外还有H2,CH4,CO(或N2) 、CO2等  。

    本文由尊龙凯时人生就是搏真空整理  !

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