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镀膜设备的结构 |
发布时间:2014-02-22 浏览:4497 次 |
1 镀膜设备的结构:抽真空系统、电气系统、镀膜室
2 镀膜设备的镀膜方式:离子镀、蒸发镀、溅射镀
将气体的辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜结合起来, 2.3、镀膜设备-溅射镀:
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2.2、镀膜设备-离子镀:
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