当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象，之后要亲自开机观察故障
，这样才能更准确、更快

、更合理的排除故障。

    当真空镀膜机排除故障应先检测低真空是否正常（机械泵

、罗茨泵
、管道

、下室
、蒸发室）





，低真空正常后再 开主泵








，主泵工作正常后检测下室真空中是否正常


，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到工作真空，极限真空
、保真空
、恢复真空

，如极限真空和保真空正常
，而恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。

以下列举常见故障及真空镀膜机维修方法

：
一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
2、坩埚被打穿（更换坩埚）
3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
5
、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）
8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）
9


、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）

二


、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空
、恢复真空
、极限真空

、保真空：
1


、蒸发室有很多粉尘（应清冼）
2

、扩散泵很久未换油（应清冼换油）
3



、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）
4


、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）
6
、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）
7
、各引入座螺钉
、螺母有无松动现象（重新压紧）
8
、高低预阀是否密封可靠（注油）

常见的真空镀膜机维修方法就分享这么多

，如有不懂，可咨询东莞尊龙凯时人生就是搏真空
。

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