真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支



，它已广泛地应用于光学


、电子学、能源开发，理化仪器

、建筑机械
、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。

      真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀
、离子镀

、束流沉积镀以及分子束外延等

。此外还有化学气相沉积法
。

　　如果从真空镀膜的目的是为了改变物质表面的物理
、化学性能的话，这一技术又是真空表面处理技术中的重要组成部分




，其分类如表 6 所示。现就其几个主要应用方面做一简单介绍
。

　　首先在光学方面
，一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后，即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射材料，也可以作成对某种波长的吸收
，而对另一种波长的透射的滤色片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开始
、一直到新型建筑物的大窗镀膜茉莉，都很需要。

　　增透膜则大量用于照相和各种激光器开始、一直到新型建筑物的大窗镀膜玻璃，都很需要


。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的地位
。

　　各种规模的继承电路。包括存贮器

、运算器


、告诉逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜
。作为制备电路的掩膜则用到铬膜
。磁带、磁盘
、半导体激光器



，约瑟夫逊器件
、电荷耦合器件( CCD )也都甬道各种薄膜
。

　　在显示器件方面



，录象磁头
、高密度录象带以及平面显示装置的透明导电膜

、摄像管光导膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备
。在元件方面
，在真空中蒸发镍铬



，铬或金属陶瓷可以制造电阻，在塑料上蒸发铝、一氧化硅
、二氧化钛等可以制造电容器
，蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层
。

　　此外还可以对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹

、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具
、模具等制造超硬膜

。

　　近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品

，如不锈钢薄板、镜面板


、包柱
、扶手、高档床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行


。

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