检测不到掩膜夹具翻转信号

：

　　1
、检查翻面信号源位置

　　2




、将翻面输入信号人工短接
，使用翻面检测功能，计算机能检测到信号时，证明问题在翻面控制开关上，根据情况做相应处理
。检测不到信号首先检查线路

，然后更换控制卡

。

　　掩膜夹具翻转不稳定:

　　1
、检查翻板的初始位置是否符合时机

　　2


、检测翻面控制开关工作是否稳定，可用指针万用表跟踪监测




。

　　3
、检查翻转机构动作是否灵活可靠

　　4
、检查翻面信号次数设置

　　5
、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有摩擦现象

　　6、检测旋转工作台在转动时的稳定性

　　在同一掩膜夹具频率散差大:

　　1. 检查晶片本身是否散差大

　　2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板

　　3.检查一下挡板在开
、关时是否完全遮挡住钼舟

　　4.检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟

　　5、检查钼舟使用是否符合要求









，要采用圆形钼舟

　　锅与锅之间频率散差大:

　　1、观察一下监控片是否存在跳频现象

　　2

、反复测量统一监控片观察振荡器的稳定性(不超过75Hz)

　　3
、检查冷却水是否通畅

　　4
、检查钼舟使用是否符合要求



，要采用圆形钼舟

　　5、监控片选用是否符合要求，建议采用我公司的监控片

　　镀膜频率不停止:

　　1、检查频率参数设置是否正确

　　2
、钼舟电流表是否有指示

　　3
、钼舟中是否有银

　　4

、监控片是否跳频

　　5、修正系数是否错误

　　6

、在出现非正常退后是否更换过监控片

　　测试不到频率:

　　1


、更换一下监控片

　　2


、检查一下测试弹片是否变形

　　3

、用一只5MHz的晶体直接插入振荡器输入端测量频率，若有频率证明是探头问题
，若无频率
，用计数器测量一下振荡器输出频率是否异常，无正常输出证明振荡器有问题，有正常输出但计算机无显示证明控制卡有问题

　　控制阀均不动作:

　　1. 检查5V电源是否有输出，是否接好

　　2. 检查固态继电器板上电源公共端是否有电

　　控制阀个别不动作

　　1
、检查相应的固态继电器是否有输出

　　未达到真空度就工作:

　　1、数字真空计出现不正常数字
，且30秒内无变化，例如0.00-4(国产真空计常见)现象

　　2
、指针表在真空计打开30秒后

，黑色指针仍不摆动

　　监控片使用原则

　　1
、监控片表面要清洗干净

　　2

、监控片要随用随镀
，空气中暴露12小时以上禁止使用

　　3



、监控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用

　　4、使用过程中要记录好使用批次

，严禁出现新旧混用

　　5、监控片反复使用寿命为3次。

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