1.其它化合物

：硫化锌ZnS
，硒化锌ZnSe，氮化钛TiN，碳化硅SiC，钛酸镧LaTiO3
，钛酸钡BaTiO3
，钛酸锶SrTiO3
，钛酸镨PrTiO3

，硫化镉CdS等真空镀膜材料

。

　　2.金属镀膜材料



：高纯铝Al

，高纯铜Cu，高纯钛Ti

，高纯硅Si

，高纯金Au
，高纯银Ag，高纯铟In



，高纯镁Mg




，高纯锌Zn
，高纯铂Pt

，高纯锗Ge
，高纯镍Ni,高纯金Au

，金锗合金AuGe


，金镍合金AuNi
，镍铬合金NiCr，钛铝合金TiAl

，铜铟镓合金CuInGa，铜铟镓硒合金CuInGaSe



，锌铝合金ZnAl
，铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。

　　3.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5


，五氧化二铌Nb2O5
，五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3
，氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料

。

　　4.氟化物

：氟化钕NbF3,氟化钡BaF2

，氟化铈CeF3

，氟化镁MgF2，氟化镧LaF3



，氟化钇YF3，氟化镱YbF3
，氟化铒ErF3等高纯氟化物。

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