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    真空镀膜设备常用真空计介绍
    发布时间 :2014-12-16 浏览:4834 次

      电阻真空计(又叫皮喇尼真空计):

      它主要由电热丝 、外壳和支架构成 ,主要是根据在低压下  ,气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。上面开口处与被测真空系统相连接     ,热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成 ,两支支架引线与测量线路连接 。

      当压强降低的时候 ,由于气体热传导散失的热量减小 ,因此当热丝加热电流稳定时候,则热丝温度就上升,热丝的电阻就增大  ,用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强,有以下关系 :

      略 这就是电阻真空计的工作原理,此真空计的测量范围是 :100-10-1帕之间,目前采用的型号是WP-02

      磁控放电真空计 :

      工作原理:在放电开始时,由于空间游离电子向阳极运动时     ,在正交电磁场作用下,电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进  ,又因为阳极是框形  ,故电子不一定第一次就碰上阳极  ,而是穿过阳极 ,然后受到对面阴极的拒斥,又复返回 。

      这样反复多次才可能打上阳极 。由于电子路程大大加长    ,故碰撞及电离的分子数增加 ,使得在较低压强(10-4帕以下)仍维持放电(也称潘宁放电)。

      目前比较多的型号有PKR251   、GI-PARY

      放电管真空计    :在玻璃管中封入两个金属电极 ,在其上加上数千伏的直流高电压 ,在一定的压强范围内(1*10-3~2*10托)内就能引起自持放电,通过放电颜色来判定其真空度

      目前为止这种真空计已经很少使用,因为其误差大    ,容易损坏 ,而且寿命不长 。

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