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    真空镀膜设备紧急状况下如何处理      ?
    发布时间:2014-12-08 浏览 :4510 次

      (1)高温时断水、断电   。真空设备最怕的就是高温时断水    、断电。因此用户最好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管 。

      设备在高温时断水、断电  ,此时,泵 、阀门均应处于关闭状态  ,操作人员应马上接通备用水或自来水,对设备进行水冷 ,如不能很快来电 ,还应打开充放气系统的手动充气阀,对设备进行充气保护 ,充气压力为-0.02MPa左右 。

      然后,把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置    。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处 ,定期更换 ,以免电极接口过热 ,造成密封圈损坏 。

      (2)更换充气气瓶。设备所用充气气瓶需更换时 ,拆掉稳压阀 ,换上一瓶新气  ,一定要注意安装时不许漏气。

      在换上新气瓶后  ,在工件没加热前,应在抽空过程中对炉内充气,以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出,使充气管路保持清洁   。

      (3)正常工作时     ,发现设备突然漏气   ,如马上能找到泄露点,须用真空封泥把泄露点封住  ,待工作完毕后 ,再做处理 。

      如不能确定泄露处 ,则应立即停止工作  ,然后检修。

      (4)设备工作一段时间,一般50到70炉次  ,需清理打扫 ,把粉尘清出炉外 ,然后空炉工作一次  。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2Pa时加热  ,加热温度一般高于正常使用温度的20℃  。在最高炉温时保温一个小时以上   ,然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁    。

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