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| 常见的蒸发镀膜技术分析 |
| 发布时间 ：2014-12-01 浏览 ：7371 次 |
一 、电阻蒸发镀 ：电阻蒸发源用于蒸发低熔点材料 ，如金 、银、硫化锌 、氟化镁、三氧化二铬等 。电阻蒸发源一般采用钨、钼、钽制作 。 二 、电子束蒸发镀：利用电子束加热使膜材汽化蒸发后 ，凝结在基片表面成膜是真空蒸镀技术中一种重要的加热方法 。 这种装置的种类很多 。随着薄膜技术的广泛应用，不但对膜的种类要求繁多，而且对膜的质量要求更加严格 。 电阻蒸发镀已不能满足蒸镀某些金属和非金属的需要 。电子束热源能获得远比电阻热源更大的能量密度 ，数值可达到104-109w/cm2 ，因此可以将膜材加热至3000-6000c 。 这就为蒸发难熔金属和非金属材料如钨 、钼、锗 、SiO2、AI2O3等提供了较好的热源 。而且由于被蒸镀的材料是放在水冷坩埚内 ，因而可避免容器材料的蒸发及容器材料与膜材之间的反应，这对提高膜的纯度是极为重要的 。 另外 ，热量可直接加到膜材表面上，因此热效率高 ，热传导和热辐射损失少。 三 、电弧加热蒸发镀：与电子束加热方式相类似的一种加热方式是电弧放电加热法 。它也具有可以避免电阻加热材料或坩埚材料的污染，加热温度较高的特点 ，特别适用 于熔点高，同时具有一定导电性的难熔金属、石墨等的蒸发 。 同时，这一方法所用的设备比电子束加热装置简单，因而是一种较为廉价的蒸发装置。 四 、激光束蒸发镀 ：采用高功率密度脉冲激光对材料进行蒸发 ，用以形成薄膜的方法 ，一般称为激光蒸镀 五、高频感应加热蒸发镀 ：利用感应加热原理把金属加热到蒸发温度 。 将装有膜层材料的坩埚放在螺旋线圈的中央，在线圈中通以高频电流 ，可以使金属膜层材料产生电流将自身加热升温，直至蒸发 。 感应加热蒸发源的特点 ： 1、蒸发速率大 2、蒸发源温度均匀稳定，不易产生铝滴飞溅现象 3 、蒸发源一次装料，无须送丝机构，温度控制比较容易，操作简单 4、对膜材纯度要求略宽些 。 推荐阅读 |
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