按照低温介质一般可以分为以下几种

　　流程低温泵

　　泵中低温板冷却管和制冷膨胀机相联接




，低温介质(气氦)通过外管路供给低温泵

，吸收低温板热量后再回到制冷压缩机




，形成封闭循环

，这种低温泵的体积庞大、管路复杂

、管路冷损较大
。

　　优点是制冷功率大
，最适宜抽除大气量或大型真空室
，广泛用于空间环模设备、受控热核反应装置

、火箭发动机高空点火试验以及低压空气动力学试验等

。

　　贮槽式低温泵

　　低温介质(液氦)直接注入泵内贮槽





，使气体冷凝达到抽气目的
。其优点是泵的体积小





、无振动、无噪声



、操作简便



，适用于大专院校及科研单位和高能加速器等大型真空工程

。

　　缺点是运转费用高，每次加注低温介质的使用时间短，需长期连续运转的真空系统要定期补充工作介质
，并且受到低温介质供应条件的限制。

　　小型制冷机低温泵

　　闭循环小型制冷机低温泵是由低温泵体、抽气低温板

、辐射屏蔽板

、制冷机和压缩机等部分组成。

　　和流程低温泵的最大区别是制冷机一、二级冷头直接和辐射屏


、冷板相连，在制冷机与压缩机连接管路中流动的是常温、高(或低)压气体介质
，不存在低温介质的输送问题



，兼有流程低温泵和贮槽式低温泵的优点，是目前比较理想的清洁超高真空泵。

　　广泛用于薄膜制备

、微电子学技术

、高能物理

、小型环模设备以及其它各工业领域



。

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