(1)高温时断水
、断电

。真空镀膜设备最怕的就是高温时断水


、断电

。因此用户最好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管



。

　　设备在高温时断水
、断电

，此时，泵

、阀门均应处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自来水
，对设备进行水冷





，如不能很快来电
，还应打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气保护，充气压力为-0.02MPa左右
。

　　然后
，把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置


。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处
，定期更换，以免电极接口过热，造成密封圈损坏。

　　(2)更换充气气瓶


。设备所用充气气瓶需更换时，拆掉稳压阀


，换上一瓶新气，一定要注意安装时不许漏气
。

　　在换上新气瓶后


，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气

，以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出，使充气管路保持清洁



。

　　(3)正常工作时，发现设备突然漏气，如马上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住




，待工作完毕后


，再做处理

。

　　如不能确定泄露处

，则应立即停止工作



，然后检修。

　　(4)设备工作一段时间

，一般50到70炉次
，需清理打扫，把粉尘清出炉外，然后空炉工作一次
。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20℃
。

　　在最高炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却
。这样使设备内部空间保持清洁
。

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