低温冷凝泵

：它是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵，是真空镀膜设备目前获得极限真空最高，抽速最大的抽气泵



。

　　冷凝泵的工作原理：主要是低温表面对气体的冷凝作用
、冷捕作用及物理低温吸附作用
。

　　低温冷凝






：根据各种气体的特性
，采用液氦或者制冷循环氦气来冷却
。

　　冷捕集：就是不可凝气体被可凝气体捕集的现象
，通常二氧化碳、水蒸气
、氮气、压气等气体首先形成霜

。

　　与低温表面形成吸附层




，进而达到吸附其它气体的目的，低温泵抽除混合气体的效果比抽除单一效果好就是这个原因。

　　低温吸附：指低温表面上的吸附剂吸附气体的作用

，由于吸附剂与气体分子之间的相互作用很强
，故可达到气相压强比冷凝表面温度下它的饱和蒸汽压还低的水平


。

　　吸附剂通常是活性炭
。冷凝泵的抽气速率及影响
，冷凝泵的抽气速率与冷凝表面的面积大小有关系

，经数据显示，单位冷凝表面的几何形状及位置
、活性炭的颗粒结构

、粘结材料及粘结工艺

，对抽速也有很大的影响
。

　　其次关键在于制冷机的制冷量要足够大


。

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