“真空镀膜机滑阀式真空泵的抽气原理与片泵相似
，当两者结构不同


。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的，故称滑阀泵。”

　　滑阀泵虽然是一种老泵

，但与旋片泵等比较，它具有允许工作压力高(10000pa)、抽气量大
、能在恶劣环境下连续工作
，经久耐用等突出特点

，所以在真空冶炼、真空干燥

、真空浸渍

、真空蒸馏等行业应用很广泛
。

　　目前真空行业中广泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的选片泵和中、大型的华发泵
。

　　真空镀膜机旋片泵在较脏的工作条件下
，旋片泵在转子槽中卡住。尽管滑阀泵对这一缺点有一定程度的克服。

　　由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值，虽然结构上采取了一些平衡措施，但尚不能达到完全平衡

，故振动难以完成消除。

　　尤其泵的容量越大，振动亦更大

。同时上述两种泵
，特别是滑阀泵与其排气量相比外形尺寸显得较大
。

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