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    真空阀在真空镀膜机中的作用
    发布时间 :2014-08-09 浏览:4623 次

      1.开关气路 ,当阀1和阀4关闭,阀2打开时,机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空  ,气流流经预真空抽气管路;当阀2关闭 ,阀4打开时    ,机械泵可单独对扩散泵抽真空;当阀1和阀4同时打开时 ,扩散泵和机械泵可同时工作,对容器进行抽空   ,此时气流流经扩散泵    。可见      ,阀门在这种操作中的作用是开关气路 ,改变气流的流经路线。

      2.控制气流大小,调节真空度在图1中  ,调节阀1的阀盖开启角度    ,即可调节流经管路的气流量大小;关闭阀2和阀4     ,通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气;通过放气阀5可以调节容器内的真空度。

      3.定量充气,在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞,当小洞转向右边和高压气瓶连通时,小洞中就可充满高压气体;当它转向左边和真空容器连通时,就把该体积的高压气体放进容器中去      ,这样就起到了定量充气的作用   。

      真空阀门的种类繁多  ,通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类。

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