真空泵在真空镀膜机中主要起到抽真空的作用

，这是因为在进行真空镀膜的时候
，薄膜材料要先蒸发成为原子或分子
，然后以较大的自由程作直线运动
，碰撞基片表面而凝结

，形成一层薄膜。

　　如果镀膜室里面残余的气态分子过多
，那么就会和蒸发材料的原子或分子发生频繁的碰撞，影响蒸发材料的原子或分子到达基片

，形成薄膜



。

　　还有残余气态分子过多的话


，可能会导致薄膜的纯净度和牢固度下降




，同时导致蒸发材料容易被氧化而产生杂质
。

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