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    真空系统的一般分类是怎样 ?
    发布时间:2014-08-04 浏览 :4109 次

      真空系统的形式一般可分为:低真空系统、中真空系统 、高真空系统以及超高真空系统。

      低真空系统 :这种真空系统的极限真空度在低真空范围内 ,只需用机械泵给真空室排气,系统比较简单 。

      中真空系统 :这种系统应用比较普遍   ,许多应用设备都采用这种系统 。如自耗炉真空系统、感应炉真空系统、热处理炉真空系统等。中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的   。

      高真空系统:高真空系统应用也比较广泛  。它的工作压强范围在6.67×10-2~1.33×10-3Pa。如镀膜机  、电子轰击炉和部分电阻炉等     ,都采用高真空系统。

      超高真空系统:超高真空主要用于表面研究 、热核反应 、高能加速器 、半导体研究  、空间模拟等科学领域中 。

      由于这些现代科学技术发展的需要 ,大大促进了超高真空技术的发展 , 目前超高真空实用真空度已达到10-12Pa 。

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