真空镀膜设备是当今制作真空条件应用最为广泛的真空设备
，一般由三大部分组成分别是真空室
、真空机组、电气控制柜，而对应的排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成




。

　　一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M
、0.9M
、1.5M


、1.8M等
，腔体不锈钢材料制作
，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀





，用来连接各抽气泵浦
。

　　二
、辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵
、增压泵(主要介绍罗茨泵)
、油扩散泵三大部分组成



。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。

　　排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态
，为扩散泵后继抽真空提供前提






，之后当扩散泵抽真空腔的时候






，机械泵又配合油扩散泵组成串联



，以这样的方式完成抽气动作。

　　机械泵
：也叫前级泵

，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵
，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

　　1.机械泵的分类
：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)
、活塞往复式


、定片式和旋片式(此目前应用最广泛




，本文主要介绍)四种类型。

　　2.机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空

，抽气速率
，此为设计与选用机械泵的重要依据

。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空
，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

　　抽气速率


，是指旋片泵按额定转数运转时






，单位时间内所能排出气体的体积

，可以用下公式计算

：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积


，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程

，Vs表示当转子处于水平位置的时候


，吸气结束
，此时空腔内的体积最大
，转速为n



。

　　机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时候


，机械泵的排气效果也会变差，所以要经常保养
、点检
、机械泵油的密封效果也需要常常点检，油过少
，达不到密封效果，泵内会漏气


，油过多



，把吸气孔堵塞
，无法吸气和排气
，一般
，在油位在线下0.5厘米即可。

　　3.机械泵常常被用来抽除干燥的空气



，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体






，机械泵一般被用来抽除永久性的气体

，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气

。

　　旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子
、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴





，象两个内切圆

，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。

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