真空蒸发镀膜设备能产生很硬的陶瓷涂层





，这有利于提高耐磨性
；涂层均匀一致

，且孔隙度小
，涂层结合强度高涂层表面粗糙度小





，可不需加工。

    多弧离子镀膜设备活塞环所采用的TiN、CrN
、ZrN

、TiAlN等是利用物理气相沉积  工艺在合金钢活塞环上形成的数微米厚的硬质薄膜。在这里金刚石膜已在赛车发动机活塞环上作过应用尝试

，与CrN相比，在确保同等耐磨性的同时，有效地降低了计算机全程监控的十二弧源离子镀膜机摩擦


，成为了今后减摩表面处理技术的发展方向。

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