1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

如



：真空镀膜机要求1×10-5mmHg的真空度
，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg

。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级
。

 2

、正确地选择真空泵的工作点


。每种泵都有一定的工作压强范围


，

如

：扩散泵为10-3~10-7mmHg
，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化
，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg
。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作


，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好
。

 3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量





。

 4
、正确地组合真空泵








。由于真空泵有选择性抽气



，因而
，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来
，互相补充才能满足抽气要求

。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦

，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度

。另外，有的真空泵不能在大气压下工作
，需要预真空
；有的真空泵出口压强低于大气压

，需要前级泵
，故都需要把泵组合起来使用

。

 5
、真空镀膜机对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵

，如：水环泵





、分子筛吸附泵、溅射离子泵
、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵
，加上一些防油污染措施
，如加冷阱

、障板




、挡油阱等

，也能达到清洁真空要求






。

 6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时

，需要知道气体成分

，针对被抽气体选择相应的泵




。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体



，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备
，如冷凝器



、除尘器等




。

 7
、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何


。如果环境不允许有污染

，可以选无油真空泵

，或者把油蒸气排到室外

。

 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响


。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施
。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。

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