真空镀膜机镀膜的过程中
，无时无刻都离不开粒子的运动

，在这里的粒子包括电子、原子、分子
、离子，当它们发生碰撞时的会发生各种各样的互相作用





，对于气体粒子常常发生的是电离和激发

。

    譬如溅射真空镀膜机中
，是通过电子与氩气分子相互碰撞产生氩离子。在电子碰撞氩气之前处于高速运动的状态




，氩气分子是单原子结构，电子与原子发生非弹性碰撞，电子所带的动能传递到原子上
，根据能量守恒定律


，电子动能减少
，原子内能增加

，原子上的电子获得能量后从低能级跃迁到高能级

，激发原子


，由原子基态变成激发状态

，不过这个时间非常短暂
，可以说是一瞬间的事情，大约就可以维持10-7左右的时间
。如果原子上的电子得到的能量足够大


，可以摆脱原子核的束缚
，成为自由电子，原子由电子
、中子和质子组成，电子是带负电荷
，中子不带电


，质子带正电荷
，原子中的电子电荷数和质子电荷数相等



，所以原子都不带电，但当电子摆脱束缚成为自由电子离开原子，原子的质子电荷数大于电子电荷数


，使原子变成离子带正电荷


，靶材与电源阴极相接，带正电荷的氩离子在电场的作用下，向阴极加速度运动




。当氩离子与靶材上的原子相碰撞


，有部分离子的动能转移到原子上



，原子被溅射出来，另外有部分离子与原子相撞后
，原子上的电子转移到氩离子上


，使氩离子获得所带电荷数相等的负电子
，还原为氩原子，金属原子失去电子变成金属正离子

，并获得部分动能


。

    这就是溅射镀膜中氩气粒子的运动过程
，由原子变成离子
，再由离子变成原子

，反反复复的过程


。

　　东莞尊龙凯时人生就是搏真空科技有限公司专业提供真空镀膜设备保养，真空镀膜设备升级改造，Polycold捕集泵销售
、维修

，同时还是美国野马真空系统中国华南区总代理


，如您的真空镀膜设备有问题，请联系尊龙凯时人生就是搏

　　只需一个电话
，即可享受专业、经济、高效的上门维修服务






，还不赶快拔打?24小时服务热线



：13827202848 400-6887599

　　相关文章：

真空镀膜机对环境要求

如何选购真空镀膜机