真空镀膜设备维修时应注意什么问题
？真空镀膜设备维修检验关键点在哪里
？真空镀膜设备维修专家东莞尊龙凯时人生就是搏真空与你分享
。

    真空镀膜设备维修检验即拆卸
、清洁、检验及装配


。真空设备无论大小都属于精密机械设备
，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干
，一定不能用大锤去敲


。清洗零件时要干净，彻底


，以便于发现问题和查出隐患。

    真空泵类产品与一般机械产品有较大区别
，一般机械产品多倒楞倒角
，而真空泵的楞角分明

，很易伤手应多加小心，切记
。千万别把楞角倒去

。

     由于国内生产的扩散泵主要靠电炉丝的长短来控制泵油的温度，扩散泵油的注入量就需要考虑当地电网的实际情况来酌量增减。泵的口径大小不一样注油量也有差别
，电网的电压低油可以减少2 mm
，只要是干净的钢板尺或铁丝都可以用来测量
。由于制造和使用上的差别

，扩散泵注油量仅供参考


。维修切记不可操之过急
，故障没搞清楚就想当然的开始动手拆卸，旧病未除又添新病
，把简单的问题复杂化了
。

    真空镀膜设备维修检验检验是个细致活，每个细节都不要落掉，任何细微的地方都可能是问题所在，所以不能存在侥幸心理
。不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件


，一定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进行装配


。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会破坏其性能，影响真空泵的性能指标

。胶圈要擦干净
，仔细检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，尺寸不对将影响密封

。

    凡是有加热位置的胶圈

，每次拆卸清洗时必须换
，比如油增压泵各个接口，装配时泵件同样需要轻拿轻放



；紧螺丝时用力要均

，要从对角紧起
。动密封多用轴封



，上轴封时要细心，先检查轴封本身有无缺陷

，密封面是否平整

，轴封簧弹性如何，在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂

，上轴封时用力要均
，骨架轴封不要压偏了
，偏了就会漏油
、漏气
，轴封簧别挤进去
，没了轴封簧轴封就失效了.注意轴封与轴的同心度

，有的泵是用对轮连接的
，对轮的同轴性要求很严格
，装配时要从轴的四面去量，保证平行一致

。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰

。扩散泵的内壁和喷射塔清洗干净后最好用电力纺擦干



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以上真空镀膜设备维修检验关键点事项由真空镀膜设备维修专家东莞尊龙凯时人生就是搏提供
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