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| 真空获得装置设备 |
真空的获得方法
人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵 。目前在真空技术中，采用各种不同的方法 ，已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围。显然 ，只用一种真空泵，获得这样宽的低压空间的气体状态，是十分困难的。
在真空获得技术中，目前用以获得真空的技术方法有两种 ，一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出 ；另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上 。
真空泵在真空系统中所承担的工作任务
由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外 ，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的 ，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面
1）在系统中做主泵
所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵 。
2）粗抽泵
粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵 。
3）前级泵
前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。
4）维持泵
维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵 。为此 ，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵 。
5）粗真空泵或低真空泵
粗 、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵 。
6）高真空泵
高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。
7）超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵 。
8）增压泵
增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间 ，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。
真空泵型号及规格的表示方法
根据中华人民共和国机械行业标准JB/T7673-95的规定 ，国产各种真空泵是由基本型号和辅助型两部分组成 ，两者中间为一横线。其表达型式为123—456。格中数字123表示基本型号 ，456表示辅助型号 。
国产真空泵的型号通常以表3-2中的汉语拼音字母来表示。若在拼音字母前冠以“2”字，则表示泵在结构上为双级泵 。
某些真空泵系列对其抽气速率则以几何级数来分档 。其单位是“L/S”。共分18个等级，分别为0.2 ，0.5，1 ，2 ，4 ，8 ，15 ，30，70 ，150 ，300 ，600 ，1200，2500 ，5000 ，10000 ，20000，40000。真空泵系列有时也可用泵的入口尺寸来表示 ，其单位是“mm” 。由于泵的种类较多 ，选用时应参阅不同生产厂家的产品说明书式样本，是很重要的。
表3-2 常用真空泵的汉语拼音代号及名称
| 代 号 |
名 称 |
| W |
往复真空泵 |
| D |
定片真空泵 |
| X |
旋片真空泵 |
| H |
罗茨真空泵（机械增压泵） |
| YZ |
余摆线真空泵 |
| L |
溅射离子泵 |
| XD |
单级多旋片式真空泵 |
| F |
分子泵 |
| K |
油扩散真空泵 |
| Z |
油扩散喷射泵（油增压泵） |
| S |
升华泵 |
| LF |
复合式离子泵 |
| GL |
锆铝吸气剂泵 |
| DZ |
制冷机低温泵 |
| DG |
灌注式低温泵 |
| IF |
分子筛吸附泵 |
| SZ |
水环泵 |
| PS |
水喷射泵 |
| P |
水蒸气喷射泵 |
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